Piezas mecanizadas CNC de semiconductores
Fabricamos a medidapiezas trabajadas a máquina CNC del semiconductora partir de dibujos del cliente y archivos CAD, incluidosComponentes de cámaras de vacío, placas y accesorios de distribución de gas, piezas de sujeción y manipulación de obleas, componentes de bombas y válvulas, piezas de RF, placas de refrigeración, disipadores de calor y componentes de kits de proceso.. Nuestras capacidades de torneado y fresado CNC, mecanizado de 5-ejes, CNC suizo y torneado{3}}fresado admiten componentes de tolerancia estricta para equipos de grabado, deposición, litografía, implantación de iones, CMP y metrología.
Las piezas de equipos semiconductores viven en un mundo diferente al de las piezas industriales ordinarias: deben sobrevivirrequisitos de vacío, gases de proceso corrosivos, plasma, ciclos de temperatura y control de partículas-. Por lo tanto, la selección del material es la primera decisión en cualquier proyecto de mecanizado de semiconductores. Mecanizamos grados exactos -316L VIM-VAR y acero inoxidable 316L, aluminio 6061-T6 y 7075-T6, titanio grado 5, molibdeno TZM, cobre OFHC C10100, aleaciones de níquel y plásticos de ingeniería PEEK/PTFE.- y aplicar acabados compatibles con salas limpias-donde la aplicación los requiera. Las piezas se fabrican según dimensiones, tolerancias, materiales y requisitos de acabado especificados, con certificados de materiales disponibles previa solicitud.
Desde prototipos individuales para el desarrollo de nuevas herramientas hasta series de producción repetidas para kits de proceso de repuesto, mecanizamos componentes semiconductores hasta el dibujo - sin importar la cantidad.
Piezas mecanizadas CNC para aplicaciones de semiconductores
Equipos de grabado y deposición
Cuerpos de cámara · revestimientos de cámara · placas de distribución de gas · conjuntos de electrodos · anillos de enfoque · anillos de sujeción · piezas de montaje de cabezal de ducha
Materiales:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Titanio grado 5
Sistemas de vacío y suministro de gas
Bridas de vacío (CF/KF/ISO) · componentes de válvula de compuerta · accesorios de tubería de gas · sellos frontales tipo VCR- · bloques de colectores · piezas de montaje de bomba
Materiales:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Manipulación y transporte de obleas
Brazos de robot · efectores finales · abrazaderas de oblea · agarres de borde · componentes de casete · piezas de elevador y horquilla · soportes cinemáticos
Materiales:6061-T6 · 7075-T6 · · Cobre berilio C17200 · Titanio grado 5
Implantación de iones y piezas de línea de luz
Componentes de la línea de luz · electrodos · aberturas · piezas de supresión y extracción · protectores contra altas-temperaturas
Materiales:Molibdeno TZM · Tungsteno W · Tántalo Ta-2.5W
Componentes de potencia de plasma y RF
Conectores RF · carcasas pasantes · portaelectrodos · piezas de blindaje · resortes de contacto
Materiales:C10100 Cobre OFHC · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Gestión Térmica y CMP
Placas de refrigeración · componentes de enfriadores · disipadores de calor · piezas de cabezal CMP · anillos de retención · componentes de platina
Materiales:C10100 OFHC cobre · 6061-T6 · 316L
Equipos de metrología e inspección
Montajes ópticos · componentes de escenario · placas base · accesorios de alineación · piezas de montaje cinemático
Materiales:6061-T6 · 7075-T6 · Titanio grado 5
Equipos de limpieza y procesamiento húmedo
Componentes del tanque y del baño · brazos rociadores · soportes para boquillas · piezas de rodillos y cepillos · accesorios{0}}resistentes a productos químicos
Materiales:316L · Hastelloy C-276 · Titanio grado 2
Piezas mecanizadas CNC semiconductoras que fabricamos
Componentes de la cámara de vacío
Cuerpos de cámara, tapas, revestimientos y anillos de montaje con planitud controlada, superficies de sellado y bajos requisitos de desgasificación.
Materiales:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Bridas y accesorios de vacío
Bridas, niples, adaptadores y accesorios para líneas de gas CF (ConFlat), KF e ISO para servicio UHV.
Materiales:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Placas y boquillas de distribución de gas
Placas de distribución, boquillas de inyector y accesorios de montaje de cabezal de ducha perforados con precisión-.
Materiales:6061-T6 · Titanio grado 5 · 316L
Abrazaderas, anillos y apretones para obleas
Anillos de enfoque, anillos de sujeción, agarres de borde y guías de oblea con planitud ajustada y control dimensional.
Materiales:6061-T6 · C17200 · Titanio grado 5
Brazos robóticos y efectores finales
Brazos de transferencia de obleas, horquillas y efectores finales con peso, rigidez y control de partículas equilibrados.
Materiales: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Componentes de bombas y válvulas
Carcasas, rotores, paletas, válvulas de asiento, asientos y piezas de vástago para bombas secas, válvulas de compuerta y hardware-de control de flujo másico.
Materiales:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Kit de proceso y piezas consumibles
Piezas reemplazables del kit diseñadas para pedidos repetidos con tolerancias y limpieza consistentes.
Materiales:6061-T6 · Titanio grado 5 · 316L VIM-VAR
Placas de enfriamiento y disipadores de calor
Placas-enfriadas por agua, disipadores de calor y piezas de enfriadores con superficies planas-críticas.
Materiales:C10100 OFHC cobre · 6061-T6 · 316L
Componentes de contacto y RF
Carcasas de RF, piezas de conectores, resortes de contacto y componentes de blindaje EMI.
Materiales: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
¿Tiene una pieza semiconductora personalizada? Envíe su archivo CAD
Procesos de mecanizado CNC para piezas semiconductoras
Torneado CNC
Lo mejor para:Accesorios · niples · vástagos de válvulas · rotores de bombas · boquillas
Ideal para componentes cilíndricos con concentricidad estrecha.
Fresado CNC
Lo mejor para:Cuerpos de cámara · placas base · colectores · soportes
Adecuado para componentes planos, prismáticos y de múltiples funciones.
Mecanizado CNC de 5 ejes
Lo mejor para:Efectores finales · carcasas complejas · componentes RF
Mecaniza geometrías complejas y ángulos compuestos en una sola configuración.
Torneado CNC-Fresado
Lo mejor para:Accesorios para líneas de gas · piezas de acoplamiento con características fresadas
Combina torneado y fresado para piezas rotativas complejas.
Mecanizado CNC suizo
Lo mejor para:Accesorios pequeños · componentes de sensores · pasadores de precisión
Diseñado para componentes de precisión pequeños, delgados y de gran-volumen.
Rectificado y bruñido CNC
Lo mejor para:Superficies de sellado · asientos de rodamientos · orificios de precisión
Se utiliza para diámetros críticos, ajustes y acabados de espejo (Ra 0,1–0,4 μm alcanzable).
Materiales de mecanizado CNC de semiconductores
Para componentes semiconductores, la selección del material depende decompatibilidad con vacío, química de procesos, resistencia al plasma, temperatura, magnetismo, generación de partículas y gestión térmica. Mecanizamos una variedad de materiales metálicos y plásticos de ingeniería para cámaras, sistemas de gas, manipulación de obleas, RF y piezas térmicas.
| Material | Grados comunes | Aplicaciones típicas de semiconductores | Ventajas clave |
|---|---|---|---|
| Aluminio | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Cuerpos de cámara, placas base, brazos robóticos, disipadores de calor, soportes | Ligero, anodizable, buena conductividad térmica; 6061-T6 es el caballo de batalla para hardware de cámara |
| Acero inoxidable | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Bridas de vacío, accesorios de gas, piezas de válvulas y hardware de alta-resistencia | Resistencia a la corrosión y temperatura; 316L VIM-VAR es el estándar para el servicio UHV de baja-desgasificación |
| Titanio | Grado 2 (CP) · Grado 5 (Ti-6Al-4V) | Piezas de distribución de gas, kits de proceso, hardware de procesamiento húmedo | Resistencia química y al plasma, alta resistencia-al-peso, no-magnético |
| Cobre | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 cobre berilio | Piezas de RF, placas de refrigeración, resortes de contacto, hardware eléctrico | Excelente conductividad eléctrica y térmica; OFHC ideal para RF y gestión del calor |
| Aleaciones de níquel | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Accesorios-resistentes a productos químicos, piezas-de alta temperatura, estructuras de metrología | Resistencia química y a la temperatura; Invar 36 ofrece una expansión térmica casi-cero |
¿Por qué 316L VIM-VAR?Para componentes de vacío ultra-alto-(UHV), mecanizamos316L VIM-VAR- inoxidable doble-fundido con muy bajo contenido de gas e inclusiones. Desgasifica menos, suelda de manera más predecible y se mantiene limpio en servicio de vacío. Si su dibujo especifica VIM-VAR o 316L electropulido, podemos suministrarle el material con certificación completa.
Selección de materiales para entornos de vacío y salas limpias
Compatibilidad con vacío y desgasificación
Los materiales dentro de la cámara no deben desgasificarse ni atrapar partículas.. 316L VIM-VAR, 6061-T6 son opciones comunes; La porosidad y el acabado de la superficie se controlan para mantener baja la desgasificación.
Resistencia química y al plasma
Los gases de proceso halógenos y fluorados atacan a muchos metales. El molibdeno TZM, Ta-2.5W, Hastelloy C-276 y titanio de grado 5 se seleccionan para química corrosiva y exposición al plasma.
Control de partículas y contaminación
El desgaste, los bordes y los escombros atrapados generan partículas que matan el rendimiento. Desbarbamos cada borde, controlamos la rugosidad de la superficie y limpiamos las piezas según los estándares de sala blanca antes del embalaje.
Gestión Térmica
El calor afecta la uniformidad del proceso. El cobre C10100 OFHC y 6061-T6 se utilizan para placas de refrigeración y disipadores de calor; TZM y tungsteno manejan piezas de cámara y línea de luz de alta temperatura.
Propiedades magnéticas y eléctricas
Algunos procesos requieren materiales no-magnéticos, como titanio 316L, grado 5; El hardware de RF y conexión a tierra utiliza cobre OFHC C10100 y cobre berilio C17200.
Precisión y estabilidad
Las piezas de metrología y litografía necesitan estabilidad dimensional: el aluminio 6061-T6 y 7075-T6 y el titanio de grado 5 mantienen la geometría a través de cambios de temperatura.
Tolerancias y especificaciones de mecanizado CNC de semiconductores
Los componentes semiconductores a menudo requieren una precisión de nivel de micras-en las caras de sellado, puntos de referencia de montaje, superficies de contacto de oblea-y orificios de precisión, para que las herramientas se ensamblen correctamente y los procesos sigan siendo repetibles.
| Especificación | Capacidad típica | Aplicaciones típicas de semiconductores |
|---|---|---|
| Dimensiones lineales | ±0,01 mm (precisión de ±0,005 mm) | Piezas de cámara, placas base, colectores. |
| Diámetro del orificio y del eje | ±0,005–0,01 mm | Rotores de bombas, vástagos de válvulas, accesorios de precisión |
| Llanura | Hasta 0,01 mm/100 mm | Superficies de sellado, placas de refrigeración, soportes cinemáticos |
| Concentricidad / Runout | Hasta 0,01 mm | Piezas de bomba giratorias, acoplamientos |
| Posición verdadera | ±0,01mm | Patrones de orificios para pernos-, orificios de distribución de gas |
| Rugosidad de la superficie | Ra estándar de 0,2 a 0,8 μm; Ra 0,1–0,4 μm bajo pedido | Caras de sellado, superficies de contacto-de oblea, interiores de cámaras |
| Desbarbado de bordes | Controlado por dibujo (micro-desbarbado disponible) | Todas las partículas-partes críticas |
| Tolerancia del hilo | Según requisitos ISO/ASME | Accesorios, bridas, hardware de montaje. |
Funciones críticas que controlamos
Sellado y ranuras para juntas tóricas- profundidad, ancho y acabado superficial controlados para sellos de vacío y fluidos.
Superficies de contacto-oblea- control de planitud y rugosidad para evitar daños en las obleas y generación de partículas.
Perforaciones y ajustes de precisión- orificios precisos para rodamientos, ejes y componentes- de ajuste a presión.
Orificios de distribución de gas- tamaño exacto del orificio, posición y desbarbado para un flujo de gas uniforme.
Características de referencia y montaje- puntos de referencia consistentes para un ensamblaje y alineación repetibles.
Acabados de superficie para piezas CNC de semiconductores
El acabado superficial es parte de la estrategia de contaminación y corrosión en equipos semiconductores. El acabado adecuado controla las partículas, la desgasificación, la resistencia química y el comportamiento eléctrico.
| Acabado superficial | Materiales aplicables | Piezas típicas de semiconductores | Beneficio principal |
|---|---|---|---|
| electropulido | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Bridas de vacío, líneas de gas, revestimientos de cámaras | Elimina el material de la superficie y las inclusiones; Reduce la desgasificación y la captura de partículas. |
| Pasivación | 316L · 304L · 17-4PH | Accesorios, sujetadores, piezas de válvulas. | Elimina el hierro libre, mejora la resistencia a la corrosión. |
| Anodizado tipo II | 6061-T6 · 6063-T5 | Cuerpos de cámara, placas base, soportes | Capa aislante y resistente a la corrosión-; opciones de color |
| Anodizado duro (Tipo III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Superficies de desgaste, guías, piezas de robot. | Capa protectora dura y resistente al desgaste- |
| Niquelado no electrolítico | 6061-T6 · 7075-T6 · Acero | Hardware de la cámara, piezas del kit de proceso | Desgaste uniforme y protección contra la corrosión. |
| Chapado en oro | C10100 · C11000 · 6061-T6 | Contactos RF, piezas de conector | Baja resistencia de contacto, protección contra la corrosión. |
| Estañado | C10100 · C11000 | Conductores eléctricos, barras colectoras. | Soldabilidad y protección contra la corrosión. |
| Granallado | 6061-T6 · 316L · Acero | Carcasas, cubiertas y superficies no-críticas | Acabado mate uniforme (controlado para la liberación de partículas) |
| Limpieza de sala limpia | Todos los materiales | Todas las piezas antes del embalaje. | Limpieza ultrasónica de múltiples-etapas, sin aceite, sin residuos, controlada-por partículas |
Control de calidad del mecanizado CNC de semiconductores
Inspeccionamos dimensiones críticas, ajustes, planitud, descentramiento y requisitos de superficie durante toda la producción para garantizar que las piezas semiconductoras mecanizadas por CNC cumplan con el dibujo. Para proyectos que requieren calidad documentada, podemos proporcionar certificados de materiales, informes dimensionales y documentación de limpieza para respaldar su inspección entrante.
Verificación de materiales
Verificación de materiales
Inspección dimensional
Inspección GD&T
Inspección de hilo
Inspección del acabado superficial
Inspección final
Inspección de embalaje
| Artículo de inspección | Equipo / Método | Piezas típicas de semiconductores |
|---|---|---|
| Inspección dimensional | CMM · Calibres · Micrómetros | Dimensiones totales de la pieza |
| Diámetro del orificio y del eje | Calibre de orificio · Calibre de pasador · CMM | Rotores de bombas, vástagos de válvulas, accesorios |
| Planicidad y Paralelismo | Placa de superficie · CMM | Superficies de sellado, placas de refrigeración |
| Posición verdadera | MMC | Patrones de agujeros, placas de distribución de gas. |
| Rugosidad de la superficie | Probador de rugosidad | Caras de sellado, superficies de contacto-de oblea |
| Inspección de hilo | Ir/No-Ir Calibres de hilo | Accesorios y sujetadores |
| Verificación de materiales | Espectrómetro + Certificado de Material | Materia prima entrante (EN 10204 3.1 disponible; certificación VIM-VAR a pedido) |
| Control de limpieza | Visual + Comprobación de partículas bajo petición | Piezas entregadas en sala limpia- |
| Inspección final | CMM + Informe de inspección | Aceptación dimensional final |
¿Necesita un control de calidad documentado?Envíenos sus dibujos y requisitos de inspección.
Prototipos y mecanizado CNC de bajo-volumen para semiconductores
Los proyectos de semiconductores suelen comenzar con prototipos - nuevos diseños de herramientas, desarrollo de kits de procesos, piezas mejoradas o componentes de repuesto que deben validarse antes de la producción. apoyamosprototipo y mecanizado CNC de bajo-volumendesde muestras iniciales hasta pedidos repetidos de lotes-pequeños.
Mecanizado de prototipos
Para el desarrollo de nuevas herramientas, validación de procesos y cambios de diseño.
Cantidad típica:1–10 unidades
Producción de bajo volumen-
Para sistemas piloto, actualizaciones de herramientas y ejecuciones de producción iniciales.
Cantidad típica:10–1,000+ unidades
Repetir producción
Para kits de proceso de repuesto y pedidos recurrentes con diseños establecidos.
Cantidad típica:Basado en los requisitos del proyecto.
Adecuado para
Hardware de cámara de vacío y suministro de gas
Componentes de manipulación y sujeción de obleas.
Piezas de grabado, deposición e implantación de iones.
Piezas de gestión RF, eléctrica y térmica.
Dispositivos de metrología e inspección.
Piezas de repuesto y kits de proceso para herramientas existentes
Embalaje y plazo de entrega para piezas CNC de semiconductores
Embalaje
Protección Individual:Bolsas de PE, espuma o película protectora para superficies mecanizadas
Embalaje para sala limpia:Piezas limpias empaquetadas doble-en bolsas limpias (opción de purga de nitrógeno-disponible)
Piezas pequeñas:Cajas con particiones para evitar rayones y contacto entre piezas-to-piezas
Piezas de precisión:Inserciones de espuma y compartimentos separados para componentes críticos
Embalaje personalizado:Números de piezas, etiquetas, cantidades y requisitos de embalaje específicos del cliente-
Plazo de entrega típico
| Tipo de orden | Plazo de entrega típico |
|---|---|
| Prototipo | 5 a 10 días laborables |
| Pedido de bajo volumen- | 10 a 20 días laborables |
| Orden de producción | 15 a 30 días laborables |
| Repetir orden | 10 a 25 días laborables |
Preguntas frecuentes
P: ¿Qué piezas mecanizadas CNC de semiconductores puede fabricar?
R: Fabricamos componentes personalizados para cámaras de vacío, bridas y accesorios para líneas de gas, placas de distribución de gas, abrazaderas y anillos de oblea, piezas de brazos de robots, componentes de bombas y válvulas, piezas de líneas de luz de implantadores de iones, componentes de RF, placas de refrigeración, disipadores de calor y piezas de kits de proceso para equipos semiconductores.
P: ¿Qué tolerancias de mecanizado CNC se pueden lograr?
R: Nuestra tolerancia CNC estándar suele ser de ±0,05 mm, con mecanizado de precisión de hasta ±0,02 mm y características críticas seleccionadas de ±0,005 a 0,01 mm, según la geometría, el material y los requisitos del dibujo.
P: ¿Pueden suministrar VIM-VAR 316L para componentes de vacío?
R: Sí. Para servicio de vacío ultra-alto-podemos mecanizar 316L VIM-VAR (fundido por inducción al vacío y refundido por arco al vacío) con bajo contenido de gas, suministrado con certificación de material. El electropulido está disponible para reducir la desgasificación y la captura de partículas.
P: ¿Ofrecen limpieza y embalaje compatibles con salas blancas-?
R: Sí. Las piezas pueden limpiarse ultrasónicamente en varias-etapas, secarse y colocarse en bolsas doble-en bolsas limpias (purga de nitrógeno opcional) para mantener las superficies libres de partículas-para su entrega en salas blancas.
P: ¿Pueden suministrar certificados de materiales e informes de inspección?
R: Sí. Dependiendo de los requisitos del proyecto, podemos proporcionar certificados de materiales (EN 10204 3.1, incluida la certificación VIM-VAR), informes de inspección dimensional, informes CMM y registros de acabado superficial.
P: ¿Se pueden mecanizar componentes no-magnéticos?
R: Sí. Mecanizamos grados no-magnéticos, incluidos acero inoxidable 316L, titanio de grado 5, aluminio 6061-T6 y PEEK para aplicaciones en las que se debe evitar el magnetismo.
P: ¿Qué acabados superficiales aplican a las piezas semiconductoras?
R: Dependiendo del material y la aplicación, ofrecemos electropulido, pasivado, anodizado duro Tipo II y Tipo III, niquelado químico, enchapado en oro y estaño, granallado y limpieza de salas blancas.
P: ¿Aceptan dibujos 2D y archivos CAD?
R: Podemos trabajar desde archivos de dibujo STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF y 2D comunes.
P: ¿Admiten prototipos y producción de bajo-volumen?
R: Sí. Admitimos cantidades de prototipos de 1 a 10 piezas, producción de bajo-volumen de 10 a 1000+ piezas, así como pedidos repetidos de producción para kits de proceso y repuestos.
P: ¿Cuál es el plazo de entrega típico para las piezas CNC de semiconductores?
R: Los plazos de entrega típicos son de 5 a 10 días hábiles para prototipos, de 10 a 20 días hábiles para pedidos de bajo volumen-y de 15 a 30 días hábiles para pedidos de producción, según la complejidad, la cantidad, el material y el acabado de la pieza.
Etiqueta: piezas mecanizadas cnc semiconductores, fabricantes de piezas mecanizadas cnc semiconductores de China, proveedores, fábrica, titanio
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